[发明专利]一种硅片切割用降温去糙型切削液的制备方法

摘要

一种硅片切割用降温去糙型切削液，涉及硅材料加工技术领域，由以下重量份的原料制成石蜡基油60‑80份、八角油6‑8份、硝酸钾5‑7份、三乙醇胺1‑3份、甘油2‑4份、聚乙二醇1‑3份、蓖麻油酸1‑3份、表面活性剂2‑4份、氢氧化钠1‑3份、硅酸钠2‑4份、硼酸脂2‑4份、甲基硅油2‑4份、过氧化氢2‑4份、苯并三氮唑1‑3份、苯甲酸钠2‑4份、癸二酸1‑3份、酒精25‑35份、助磨剂2‑4份。本发明的有益效果是本发明配方选取科学合理，选用的原料均为廉价易得的产品，制备出的切削废液，内部本身含有降温将解的功效，可以对硅片切割时产生的热量进行吸附，同时内部助磨剂的添加，保证切割时硅片的平整平滑性能，不会对硅片本身造成物理伤害，安全彻底，同时环保健康，便于推广及使用。

主权项

一种硅片切割用降温去糙型切削液，其特征在于，由以下原料制成：石蜡基油60‑80份、八角油6‑8份、硝酸钾5‑7份、三乙醇胺1‑3份、甘油2‑4份、聚乙二醇1‑3份、蓖麻油酸1‑3份、表面活性剂2‑4份、氢氧化钠1‑3份、硅酸钠2‑4份、硼酸脂2‑4份、甲基硅油2‑4份、过氧化氢2‑4份、苯并三氮唑1‑3份、苯甲酸钠2‑4份、癸二酸1‑3份、酒精25‑35份、助磨剂2‑4份。