[发明专利]一种由硅烷直接铸造多晶硅锭的设备及方法

摘要

本发明涉及一种由硅烷直接铸造多晶硅锭的设备及方法，包括多晶硅铸锭炉(100)，和连接在其顶部的硅烷分解反应器(200)以及换热器(9)。所述硅烷分解反应器(200)包括空管反应器(21)和所述空管反应器(21)外壁的加热组件(22)。所述多晶硅铸锭炉(100)包括炉体(1)、真空与保护气系统(2)、保温组件(3)、加热组件(4)、热交换台(5)、坩埚(6)、升温管(7)、水冷却系统(8)；硅烷原料通过换热器(9)送入空管反应器(21)热解生成固体硅粉，经升温管(7)进入坩埚(6)形成液体硅，所述液体硅以定向凝固方式、自下而上长晶，形成的铸块经过退火、冷却后得到高质量的多晶硅锭；反应生成的氢气经换热器(9)预热硅烷原料后送出装置。与现有技术相比，本发明具有生产率高、产品质量好、综合能耗和成本低等优点。

主权项

一种由硅烷直接铸造多晶硅锭的设备，其特征在于，包括多晶硅铸锭炉(100)，和连接在其顶部的硅烷分解反应器(200)。