[发明专利]一种液晶玻璃基板化学薄化方法

摘要

本发明属于液晶玻璃基板薄化领域,为了有效解决现有技术中基板厚度不均匀，产品的良品率不高，生产时间长，生产效率低等问题，本发明提供了一种液晶玻璃基板化学薄化方法，步骤有步骤一.薄化酸液配制向一密闭、耐酸的容器中依次加入一定量的氢氟酸及纯水，质量分数分别为氢氟酸2％～20％、纯水98％～80％；步骤二.液晶玻璃基板的薄化；步骤三.基板薄化后的酸洗将步骤二中薄化完成后的基板置于质量分数为2％～8％的常温盐酸溶液装置中进行初步清洗；步骤四.基板薄化后的水洗。有益效果①本发明对产品表面不良较少，其基板厚度比较均一；②本发明采用玻璃基板多片直立浸泡式化学减薄方式，具有生产时间短，产能高的特点。

主权项

一种液晶玻璃基板化学薄化方法，其特征在于，其步骤如下：步骤一.薄化酸液配制：向一密闭、耐酸的容器中依次加入一定量的氢氟酸及纯水，质量分数分别为氢氟酸：2％～20％、纯水：98％～80％；步骤二.液晶玻璃基板的薄化：将步骤一中配制好的薄化酸液注入设备中，并使设备鼓动气泡维持在60L/H～220L/H范围内，温度维持在20℃～40℃范围内；并使薄化酸液液位控制在液晶玻璃基板上方10cm处，薄化速率以基板双面处理量2～25μm/min的条件下持续蚀刻，直至达到所需要厚度；步骤三.基板薄化后的酸洗：将步骤二中薄化完成后的基板置于质量分数为2％～8％的常温盐酸溶液装置中进行初步清洗，并开启15L/H～50L/H范围内的鼓泡，清洗时间控制在3min～10min内；步骤四.基板薄化后的水洗：将步骤三中初步清洗完成后的液晶玻璃基板转投入常温纯水装置对液晶玻璃基板进行清洗，并开启15L/H～50L/H范围内的鼓泡，清洗时间控制在3min～10min内。