[发明专利]一种液晶玻璃基板薄化预处理方法

摘要

本发明属于液晶玻璃基板薄化领域,为了降低基板表面凹点及划痕的深度及尺寸，提高基板的研磨效率，本发明公开了一种液晶玻璃基板薄化预处理方法，其步骤如下A.预处理酸液配制向一密闭、耐酸的容器中依次加入硫酸、盐酸、硝酸、氢氟酸及纯水配制成预处理酸液；B.液晶玻璃基板的预处理；C.预处理后基板的清洗将步骤B中预处理完成后的液晶玻璃基板置于纯水中进行清洗；D.预处理后基板的薄化。有益效果本发明对液晶玻璃基板的研磨效率有明显的提高，在相同研磨条件下，经预处理正常薄化后的液晶玻璃基板相对于未做预处理直接薄化后的液晶玻璃基板，其研磨时间可减少50％～80％。

主权项

一种液晶玻璃基板薄化预处理方法，其特征在于，其步骤如下：A.预处理酸液配制：向一密闭、耐酸的容器中依次加入硫酸、盐酸、硝酸、氢氟酸及纯水配制成预处理酸液，预处理酸液中质量分数分别为硫酸：40％～85％、盐酸：2％～20％、硝酸：2％～10％、氢氟酸：0.1％～5％、纯水：0.1％～46％；B.液晶玻璃基板的预处理：将步骤A中配制好的预处理酸液注入设备中，并使设备气体搅拌维持在40L/H～200L/H范围内，温度维持在26℃～40℃范围内；并使预处理酸液液位控制在液晶玻璃基板最上方的5cm以上，预处理时间以基板双面处理量25μm～100μm的条件下控制在10min～200min内；C.预处理后基板的清洗：将步骤B中预处理完成后的液晶玻璃基板置于纯水中进行清洗，纯水鼓泡流量维持在40L/H～200L/H范围内，清洗时间控制在3min～10min；D.预处理后基板的薄化：将步骤C中清洗完成后的预处理基板转投入有薄化酸液的设备内，直到基板薄化至目标厚度管控范围内。