[发明专利]刀具金刚石涂层制备装置

摘要

本申请公开了一种刀具金刚石涂层制备装置，包括罩体，该罩体具有一反应腔，所述反应腔内设置有支撑台，所述支撑台上方设置有螺旋形热丝，该螺旋形热丝的轴向位于竖直方向，刀具支撑于所述支撑台上并位于所述螺旋形热丝围成的空间内，所述支撑台可沿轴向转动，所述螺旋形热丝分别与热丝电源和直流偏压电源连接。本发明采用螺旋形热丝，能够保证刀具受热均匀，使得刀具基体表面与热丝之间的距离相等，使得分布在基体周围的碳离子图案以及氢离子团更加均匀和致密性，有利于增加形核密度。

主权项

一种刀具金刚石涂层制备装置，其特征在于，包括罩体，该罩体具有一反应腔，所述反应腔内设置有支撑台，所述支撑台上方设置有螺旋形热丝，该螺旋形热丝的轴向位于竖直方向，刀具支撑于所述支撑台上并位于所述螺旋形热丝围成的空间内，所述支撑台可沿轴向转动，所述螺旋形热丝分别与热丝电源和直流偏压电源连接。