[发明专利]一种金属网络透明导电电极的全液相制备方法

摘要

本发明公开了一种金属网络透明导电电极的全液相制备方法，包括以下步骤：(1)制作疏水材料阻隔层；(2)制作龟裂模板；(3)等离子清洗处理；(4)去除龟裂模板；(5)沉积金属；(6)去除剩余疏水材料阻隔层；(7)转移金属透明导电电极。该方法制备的金属网络电极具备优良的透光性和较低的表面电阻、以及机械柔性；该制备方法为全液相湿法技术，完全脱离真空和高温设备和工艺，显著降低制备成本，且适合湿法卷对卷大面积、大规模生产工艺。

主权项

1.一种金属网络透明导电电极的全液相制备方法，其特征是包括以下步骤：（1）制作疏水材料阻隔层：选取疏水材料制成疏水溶液，将疏水溶液均匀沉积在硅衬底上制得疏水薄膜，控制温度条件，使疏水薄膜固化，制得疏水材料阻隔层；（2）制作龟裂模板：选取牺牲层材料调制成溶胶状态的龟裂液，将龟裂液均匀沉积在疏水材料阻隔层表面制得龟裂薄膜，控制温度条件，使龟裂薄膜自然龟裂形成龟裂模板；（3）等离子清洗处理：采用等离子清洗龟裂模板的表面，去除龟裂模板裂缝处的疏水材料阻隔层，制得疏水层模板；（4）去除龟裂模板：将硅衬底上的疏水层模板中的龟裂模板去除；（5）沉积金属：采用液相法在硅衬底上沉积金属薄膜；（6）去除剩余疏水材料阻隔层：采用等离子清洗法将硅衬底上剩余的疏水材料阻隔层去除，在硅衬底上形成多孔金属薄膜透明导电电极；（7）转移金属透明导电电极：将硅衬底上的透明导电电极用胶水转移到透明衬底上，在透明衬底上制得金属网络透明导电电极；步骤（1）中所述疏水溶液为氟树脂CYTOP稀释液、聚二甲基硅氧烷PDMS溶液、聚四氟乙烯溶液或疏水性光刻胶溶液；步骤（5）中采用液相法在硅衬底上沉积金属薄膜的过程是：将硅衬底置于银电极生长液中常温反应1~10s，制得金属薄膜，所述金属薄膜的厚度为600~4000nm，其中银电极生长液采用以下方式配制获得：取硝酸银溶于氢氟酸和去离子水中超声混匀，即得银电极生长液，其中硝酸银与氢氟酸和去离子水的用量关系为5~15g：2~8mL：50~100mL。