[发明专利]采用多脉冲激光诱导等离子体光谱分析设备检测钢铁样品成分的方法有效

专利信息
申请号: 201610717184.2 申请日: 2016-08-24
公开(公告)号: CN107782715B 公开(公告)日: 2020-11-06
发明(设计)人: 孙辉;樊仲维 申请(专利权)人: 中国科学院光电研究院
主分类号: G01N21/71 分类号: G01N21/71
代理公司: 北京卓恒知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11394 代理人: 唐曙晖
地址: 100094*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及采用多脉冲激光诱导等离子体光谱分析设备检测钢铁样品成分的方法,尤其是采用包括皮秒和纳秒激光脉宽的多脉冲激光诱导等离子体光谱分析设备检测钢铁样品成分的方法,激光诱导光源是包含纳秒级和皮秒级超短脉冲的激光光源,能够用一个脉冲激光器产生两个脉冲激光即纳秒激光和皮秒激光,通过同样的输出和聚焦光路使得这两个脉冲激光聚焦在待测样品上相同位置,利用第一束纳秒激光脉冲照射样品表面产生等离子体,稍后第二束皮秒激光脉冲照射等离子体以增强谱线发射。
搜索关键词: 采用 脉冲 激光 诱导 等离子体 光谱分析 设备 检测 钢铁 样品 成分 方法
【主权项】:
使用一种激光诱导等离子体光谱分析设备来检测钢铁样品成分的方法,其中该设备包括激光器、激光导入系统、光谱导出及收集系统、分光系统和光谱接收系统,其中,光谱导出及收集系统包括光谱导出子系统及光谱收集子系统,激光器和光谱接收系统由同一脉冲发生器发送指令控制,激光器发射激光通过激光导入系统聚焦至样品处,使样品表面形成等离子体、生成激光诱导光谱并通过光谱导出子系统将所产生的荧光导出至光谱收集子系统,通过对收集光谱的计算、处理和分析以便对样品中所含元素进行定性和定量检验,其中所述激光器是全固态再生放大皮秒激光器,并且通过在再生放大技术与调Q方式之间的切换,分别使用再生放大技术来实现皮秒脉宽的激光诱导光源输出或通过使用调Q方式来实现纳秒脉宽的激光诱导光源输出,所述方法包括以下步骤:1)所述激光器通过使用调Q方式来实现纳秒脉宽的激光诱导光源输出,让输出的纳秒激光脉冲通过激光导入系统被聚焦至样品处,使样品表面形成等离子体,2)然后,所述激光器通过在再生放大技术实现皮秒脉宽的激光诱导光源输出,让输出的皮秒激光脉冲也通过激光导入系统被聚焦至样品处,使得因为纳秒激光脉冲照射所形成的等离子体而增强谱线发射,生成谱线增强的激光诱导光谱,2)所生成的诱导光谱通过光谱导出子系统将产生的荧光导出至光谱收集子系统;和,3)通过对所收集光谱的计算、处理和分析,完成对样品中所含元素进行定性和定量检验。
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