[发明专利]磷酸盐激光钕玻璃表面雾深度的检测方法及发雾去除方法有效
申请号: | 201610717433.8 | 申请日: | 2016-08-24 |
公开(公告)号: | CN106352809B | 公开(公告)日: | 2018-11-20 |
发明(设计)人: | 曹俊;顿爱欢;徐学科;邵建达;王哲;吴福林 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01B11/22 | 分类号: | G01B11/22;C03C23/00 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 张泽纯;张宁展 |
地址: | 201800 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种磷酸盐激光钕玻璃表面雾深度的检测方法,包括清洗磷酸盐激光钕玻璃;图像采集;图像处理;确定发雾深度。本发明不仅能够表征出磷酸盐激光钕玻璃表面发雾的深度,而且能够有效地去除磷酸盐激光钕玻璃表面发雾,改善抛光好的磷酸盐激光钕玻璃表面的通透性。 | ||
搜索关键词: | 磷酸盐 激光 玻璃 表面 深度 检测 方法 去除 | ||
【主权项】:
1.一种磷酸盐激光钕玻璃表面雾深度的检测方法,其特征在于该检测方法包括如下步骤:步骤1)清洗磷酸盐激光钕玻璃:用去离子水对双面抛光后的磷酸盐激光钕玻璃进行清洗,使用无水乙醇对清洗干净的磷酸盐激光钕玻璃表面进行脱水;步骤2)图像采集:将清洗后的磷酸盐激光钕玻璃(1)放置在光学平台上,通过CCD(3)拍摄激光器(2)打到清洗后的磷酸盐激光钕玻璃(1)表面上的激光光斑,所述的CCD(3)通过数据线连接到电脑(4)上,所述的电脑(4)实时反映CCD(3)所拍摄的内容,并且CCD(3)对所显示的激光光斑进行图片拍摄;步骤3)图像处理:对所述的图片进行灰度处理,得到图片对应的灰度均值Y1,图像标准差Y2和直方图标准差Y3;步骤4)确定发雾深度:根据同一个光斑图像在不同曝光时间所算出的值是相同的,计算深度因子
其中b1为灰度均值截距,b2为图像标准差截距,b3为直方图标准差截距;若深度因子S值在700~800之间,则发雾深度值为300~400nm;若深度因子S值在800~900之间,则发雾深度值为200~300nm;若深度因子S值在900~1000之间,则发雾深度值为100~200nm;若深度因子S值在1000~1100之间,则发雾深度值为50~100nm;若深度因子S值在1100~1200之间,则发雾深度值为1~50nm;每隔100ms拍摄一组不同曝光时间的图片,并对图片进行处理,计算每张图片的灰度均值,将这些灰度均值拟合成直线y=k1x+b1;每隔100ms拍摄一组不同曝光时间的图片,并对图片进行处理,计算每张图片的图像标准差,将这些图像标准差拟合成直线y=k2x+b2;每隔100ms拍摄一组不同曝光时间的图片,并对图片进行处理,计算每张图片的直方图标准差,将这些直方图标准差拟合成直线y=k3x+b3。
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