[发明专利]一种用于夹持半导体器件的夹具

摘要

本发明涉及一种用于夹持半导体器件的夹具，属于半导体光学电子技术领域，包括基座、支撑件、夹持件、拉杆、挡板及弹性件；支撑件固定设置于基座且设置有用于放置样品的工作端面，工作端面相对于基座的端面倾斜，工作端面设置有用于支撑样品的限位台；夹持件包括连接板和侧板，连接板与侧板连接，侧板与支撑件连接；连接板开设有第一定位孔，拉杆穿设于第一定位孔，拉杆的一端与挡板固定连接，弹性件套设于拉杆且抵接于连接板和挡板之间，挡板与支撑件之间形成用于夹持样品的夹持区。本实施例提供的夹具，结构简单，便于样品装夹，能够保证样品非高反膜生长面上不生长高反膜，样品合格率高。

主权项

1.一种用于夹持半导体器件的夹具，其特征在于，包括基座、支撑件、夹持件、拉杆、挡板及弹性件；所述支撑件固定设置于所述基座且设置有用于放置样品的工作端面，所述工作端面相对于所述基座的端面倾斜，所述工作端面设置有用于支撑样品的限位台；所述夹持件包括连接板和侧板，所述连接板与所述侧板连接，所述侧板与所述支撑件连接；所述连接板开设有第一定位孔，所述拉杆穿设于所述第一定位孔，所述拉杆的一端与所述挡板固定连接，所述弹性件套设于所述拉杆且抵接于所述连接板和所述挡板之间，所述挡板与所述支撑件之间形成用于夹持样品的夹持区，当样品放置于所述限位台时，所述挡板抵压样品，样品的非高反膜生长面被所述挡板、侧板、工作端面及限位台包围；所述侧板包括相对设置的第一侧板和第二侧板，所述第一侧板位于所述连接板的一侧，所述第二侧板位于所述连接板的另一侧，所述支撑件抵接于所述第一侧板和所述第二侧板之间；所述侧板设置有第一凹槽，所述支撑件可滑动地嵌设于所述第一凹槽内，所述夹持件与所述支撑件通过第一螺栓连接，所述第一螺栓贯穿侧板且抵接于所述支撑件。