[发明专利]一种高灵敏度的光纤EFPI传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 201610719576.2 | 申请日： | 2016-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN106124414A | 公开（公告）日： | 2016-11-16 |
| 发明（设计）人： | 王彦;刘加萍;方挺;赵凯;刘吉虹 | 申请（专利权）人： | 马鞍山市安工大工业技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17;G01D5/26 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 蒋海军 |
| 地址： | 243002 安徽省马鞍*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高灵敏度的光纤EFPI传感器及其制作方法，属于光纤传感技术领域。它包括毛细管、单模光纤和反射膜，其中，单模光纤包括入射光纤和反射光纤，入射光纤和反射光纤位于毛细管内的一端上对应各有一段纤芯I和纤芯II，纤芯I的端面和纤芯II的端面之间间隙相对，纤芯I的端面和纤芯II的端面上均设有反射膜，纤芯I的表面和纤芯II的表面均设有反射膜，入射光纤与纤芯I衔接处的端面为横切面I，反射光纤与纤芯II衔接处的端面为横切面II，横切面I和横切面II上均设有反射膜，还包括它的制作方法。与现有的技术相比，本发明采用在光纤端面镀上一层钯金膜提高端面的反射率，从而提高光纤EFPI的干涉效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 灵敏度 光纤 efpi 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种高灵敏度的光纤EFPI传感器，包括毛细管(4)，其特征在于，还包括单模光纤和反射膜(2)，其中，单模光纤包括入射光纤(101)和反射光纤(102)，入射光纤(101)和反射光纤(102)位于毛细管(4)内的一端各对应有一段纤芯I(103)和纤芯II(104)，纤芯I(103)的端面和纤芯II(104)的端面之间间隙相对，纤芯I(103)的端面和纤芯II(104)的端面上均设有反射膜(2)。
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