[发明专利]一种用于扩散炉内的石英舟传送机构

摘要

本发明公开了一种用于扩散炉内的石英舟传送机构，包括固定于扩散炉内一侧的竖直向上的立柱，固定于扩散炉内另一侧的推舟机构以及固定于扩散炉底部的侧向出舟机构，所述立柱上由上至下固定有多个间隔开的暂存区，所述推舟机构上水平伸出一SIC桨，所述SIC桨与所述暂存区之间设有升降通道区，所述立柱上还设有一沿该立柱上下运动的机械手，所述侧向出舟机构固定于扩散炉底部的位置位于所述暂存区的正下方。本发明提出的用于扩散炉内的石英舟传送机构，在SIC桨的取放舟位置较低时，机械手在抓取SIC桨上的石英舟后传输到升降通道区时不会与侧向出舟机构上传输的石英舟发生碰撞。

主权项

一种用于扩散炉内的石英舟传送机构，包括固定于扩散炉（9）内一侧的竖直向上的立柱（1），固定于扩散炉内另一侧的推舟机构（2）以及固定于扩散炉底部的侧向出舟机构（6），所述立柱上由上至下固定有多个间隔开的暂存区（3），所述推舟机构上水平伸出一SIC桨（4），所述SIC桨与所述暂存区之间设有升降通道区（5），所述立柱上还设有一沿该立柱上下运动的机械手（7），其特征在于：所述侧向出舟机构固定于扩散炉底部的位置位于所述暂存区的正下方。