[发明专利]极容串联式等离子发生器在审
| 申请号： | 201610723416.5 | 申请日： | 2016-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN107770939A | 公开（公告）日： | 2018-03-06 |
| 发明（设计）人： | 孙保胜 | 申请（专利权）人： | 孙保胜 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300301 天津滨海高新区未来科技城南*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种能够生产等离子体的装置，它由两个或两个以上相隔一定距离的平行极板一端串联或两端各串联一个电容器组成。在交流电源的驱动下，改变工作条件(包括气体压强、温度、电源电压、频率、电极形状等)可实现已知的汤生放电、辉光放电、弧光放电、火花放电、电晕放电、无声放电等放电形式。该装置既可以生产热平衡等离子体，也可以生产非热平衡等离子体。该装置用途广泛，包括不限于用于光源、材料表面处理、电子刻蚀、材料合成、臭氧生产、发电等。 | ||
| 搜索关键词： | 串联式 等离子 发生器 | ||
【主权项】：
一种交流电源驱动的等离子发生器，其特征是，在相隔一定距离的平行的两个或两个以上导体极板一端串联或两端各串联一个电容，被电离气体置于两极板空间内，两个极板根据工作状况安装在合适的绝缘支架上。
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