[发明专利]用于更换光学元件的光站有效
申请号: | 201610724427.5 | 申请日: | 2016-08-25 |
公开(公告)号: | CN106486354B | 公开(公告)日: | 2019-04-12 |
发明(设计)人: | 乔布·维安恩;拉尔夫·彼得勒斯·弗朗西斯·诺伊詹;赫里特·阿里·范·霍伊克;马吕斯·范·德·杜斯 | 申请(专利权)人: | 先进科技新加坡有限公司 |
主分类号: | H01L21/304 | 分类号: | H01L21/304;H01L21/78;H01L21/301;B23K26/38;B23K26/402;B23K101/40 |
代理公司: | 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 | 代理人: | 艾晶 |
地址: | 新*** | 国省代码: | 新加坡;SG |
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摘要: | 本发明提供一种用于激光处理装置的光站,包括:多个保持件,所述多个保持件用于保持相应的光学元件;可旋转的料盒,该料盒具有多个容纳空间,用于容纳所述多个保持件;定位装置,该定位装置具有保持件夹,以夹持并定位从所述光学元件中选择的光学元件;用于旋转所述料盒的料盒致动器;线性移位装置,该线性移位装置用于沿平行于所述光轴的方向移位所述料盒。所述料盒朝向所述定位装置移位,使得所述定位装置从所述保持件的容纳空间抬起该保持件。 | ||
搜索关键词: | 用于 更换 光学 元件 | ||
【主权项】:
1.一种光站(1),该光站用于具有光路的激光处理装置,所述光站具有定位轴线(2),该定位轴线趋于与所述激光处理装置的光路重合,所述光站包括:‑多个保持件(200),所述多个保持件用于保持相应的光学元件(300);‑定位装置(500),该定位装置具有保持件夹(520),以夹持并定位从所述光学元件中选择的光学元件,从而将所对应的光学元件定位在所述光路中;‑料盒(100),该料盒具有多个容纳空间(120),用于容纳所述多个保持件,其中所述料盒被配置成可在垂直于所述定位轴线(2)的虚拟XY平面中移位,并且其中所述料盒和所述保持件夹(520)被配置成可在平行于所述定位轴线(2)的Z方向上相对于彼此移位;‑料盒XY致动器(400),该料盒XY致动器用于相对于所述定位装置垂直于所述定位轴线(2)移位所述料盒;‑料盒Z致动器(600),该料盒Z致动器用于使所述料盒(100)和所述保持件夹(520)在相对远侧的极端位置和相对近侧的极端位置之间相对于彼此进行相对的Z移位;其中,当所述料盒(100)和所述保持件夹(520)处于相对远侧的极端位置中时,所述料盒(100)操作成将保持件从所述保持件夹(520)抬起并且可沿XY方向移位以选择另一个保持件;并且其中,当所述料盒(100)和所述保持件夹(520)处于相对近侧的极端位置中时,所述保持件夹(520)操作成将所选择的保持件从所述料盒(100)抬起以相对于所述定位轴线(2)精确地定位所选择的保持件。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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