[发明专利]扩束组件及具有该扩束组件的激光加工设备

摘要

本发明涉及一种扩束组件及具有该扩束组件的激光加工设备。上述的扩束组件包括沿入射光束的传输方向依次设置的第一透镜、第二透镜以及第三透镜，第一透镜与第二透镜能够相对移动，第一透镜与第三透镜能够相对移动，且第二透镜与第三透镜相对静止；第一透镜为双凹型负透镜，第二透镜为弯月型负透镜，第三透镜为双凸型正透镜。上述的扩束组件及具有该扩束组件的激光加工设备，使用时可以调节第一透镜与第二透镜之间的距离，及调节第一透镜与第三透镜之间的距离，以实现不同波长的入射光束的等倍率扩束；也可以应用到不同波长的入射光束的高功率的激光器中，所以上述的扩束组件的适应性强，应用范围较广。

主权项

1.一种扩束组件，其特征在于，由沿入射光束的传输方向依次设置的第一透镜、第二透镜以及第三透镜组成，所述第一透镜与所述第二透镜能够相对移动，所述第一透镜与所述第三透镜能够相对移动，且所述第二透镜与所述第三透镜相对静止；所述第一透镜为双凹型负透镜，所述第二透镜为弯月型负透镜，所述第三透镜为双凸型正透镜；所述第一透镜的两侧分别设有第一曲面和第二曲面，所述第一曲面远离所述第二透镜，所述第二曲面邻近所述第二透镜，所述第一曲面的曲率半径为‑30mm±1.5mm，所述第二曲面的曲率半径为8mm±0.4mm；所述第二透镜的两侧分别设有第三曲面和第四曲面，所述第三曲面邻近所述第二曲面，所述第四曲面邻近所述第三透镜，所述第三曲面的曲率半径为120mm±6mm，所述第四曲面的曲率半径为40mm±2mm；所述第三透镜的两侧分别设有第五曲面和第六曲面，所述第五曲面邻近所述第四曲面，所述第六曲面远离所述第四曲面，所述第五曲面的曲率半径为50mm±2.5mm，所述第六曲面的曲率半径为‑50mm±2.5mm；所述第四曲面与所述第五曲面之间在光轴上的距离为1mm±0.05mm。