[发明专利]声表面波传感器在审
| 申请号： | 201610727889.2 | 申请日： | 2016-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN106404919A | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 徐静波;张海英 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N29/24 | 分类号： | G01N29/24 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司11228 | 代理人： | 张瑾 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种声表面波传感器，所述传感器由Si衬底、SiO2缓冲层、换能器IDT、ZnO薄膜组成多层结构，所述多层结构从上之下依次为ZnO薄膜、换能器IDT、SiO2缓冲层及Si衬底，所述换能器IDT为同心环形结构。本发明能够有效减少声表面波向自由空间的衍射现象，减少压电基片各向异性对声电转换的影响，从而提高声电转换效率；同时可以用于生物检测的液相检测环境。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 传感器 | ||
【主权项】：
一种声表面波传感器，其特征在于，所述声表面波传感器由Si衬底、SiO2缓冲层、换能器IDT、ZnO薄膜组成多层结构，所述多层结构从上之下依次为ZnO薄膜、换能器IDT、SiO2缓冲层及Si衬底，所述换能器IDT为同心环形结构。
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