[发明专利]热屏组件及单晶提拉炉热场结构在审
| 申请号： | 201610728299.1 | 申请日： | 2016-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN107779946A | 公开（公告）日： | 2018-03-09 |
| 发明（设计）人： | 邓先亮;赵向阳;陈强 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙)31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201306 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种热屏组件及单晶提拉炉热场结构，所述热屏组件包括热屏及位于所述热屏外围的排气管。本发明的热屏组件通过在热屏的外围设置一组排气管，将所述热屏组件用于单晶提拉炉热场结构时，所述排气管可以作为新增的氩气出口，可以改变氩气在热场结构内流动的路径，使得氩气在热场结构内不易形成涡旋。同时可以将从熔体中挥发的SiO及时排出，减少氩气流中的SiO进入熔体及与坩埚下方的高温石墨元件反应，从而延长各石墨组件的使用寿命，降低晶体中的氧含量和碳含量，并降低长晶结束后清炉的难度；同时，所述热屏组件还可以通过改变排气管中的流速，调节热屏附近的温度梯度。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 单晶提拉炉热场 结构 | ||
【主权项】：
一种热屏组件，适用于单晶提拉炉热场结构，其特征在于，所述热屏组件包括热屏及位于所述热屏外围的排气管。
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