[发明专利]Er掺杂LuAG晶体的制备方法在审
申请号: | 201610729260.1 | 申请日: | 2016-08-25 |
公开(公告)号: | CN106119965A | 公开(公告)日: | 2016-11-16 |
发明(设计)人: | 权纪亮;黄晋强;郭勇文;金宁昌;黄国伟;郭建军;刘昌锬;李汉达 | 申请(专利权)人: | 广州半导体材料研究所 |
主分类号: | C30B29/28 | 分类号: | C30B29/28;C30B28/02;C30B15/10;C30B15/00 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 林青中 |
地址: | 510610 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种Er掺杂LuAG晶体的制备方法,该制备方法包括配料、装炉、熔料、引晶、放肩、等径提拉、收尾及冷却等步骤以控制晶体生长。该Er掺杂LuAG晶体的制备方法可有效避免晶体生长过程中产生的开裂问题,可获得直径20~30mm、质量较高的Er:LuAG激光晶体,工艺稳定,晶体成炉率较高。 | ||
搜索关键词: | er 掺杂 luag 晶体 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种Er掺杂LuAG晶体的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:配料:将原料Lu2O3、Er2O3与Al2O3在600~1000℃下恒温灼烧4~10小时,自然冷却后按照预设比例混合配置底料,将配好的底料装入容器中,进行充分混合,再将混合均匀的底料装入模具中,密封后通过等静压成型;熔料:将成型的底料在1000~1300℃下灼烧24~48小时,形成多晶料,将多晶料置于晶体生长装置中,加热使多晶料熔化得到熔体,并恒温保持1~3小时,将籽晶慢慢下移至熔体上方;引晶:待籽晶进入熔体,调节熔体的温度至籽晶有部分微熔时,保持温度1~2小时后开始提拉;放肩:放肩角度控制在30~45°,提拉速度1.5~2mm/小时,晶转速度19~20转/分钟;等径提拉:通过改变提拉速度和晶转速度,使用称重自动控径方法,控制晶体直径偏差不超过1mm,整个过程中,提拉速度1~1.5mm/小时,晶转速度17~19转/分钟;收尾:升温以逐渐缩小晶体直径,整个收尾过程的提拉速度为1~1.5mm/小时,晶转速度为15~17转/分钟;冷却,以20~40℃/小时的降温速率降至室温后取出晶体。
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