[发明专利]硅锭切割机的工作台、硅锭切割机及硅锭切割方法

摘要

本发明公开了一种硅锭切割机的工作台、硅锭切割机及硅锭切割方法，该工作台包括：并列设置的至少两个工位平台，用于承托硅锭；工位平台包括平台底座及设于平台底座上的硅锭承托台；工位转换装置，连接于至少两个工位平台，用于驱动至少两个工位平台运动以使得至少两个工位平台转换工位位置。本发明硅锭切割机的工作台中的至少两个工位平台通过工位转换装置而转换工位位置，能实现工位平台的自动且准确的转换，使得线切割装置能对装载于至少两个工位平台上的待切割的硅锭实现交替切割，保证多批硅锭可以有序进行切割作业，解决了现有技术中切割效率低下、工作台转换不便等问题。

主权项

1.一种硅锭切割机的工作台，其特征在于，包括：并列设置的至少两个工位平台，用于承托硅锭；所述工位平台包括：平台底座，设于所述平台底座上、用于承托硅锭的硅锭承托台；工位转换装置，连接于至少两个所述工位平台，用于驱动至少两个所述工位平台运动以使得至少两个所述工位平台转换工位位置，其中，所述工位转换装置包括分别设置于至少两个所述工位平台的相对两端的两个转动机构，所述转动机构包括：基座，位于所述工位平台的一端；所述基座上设有驱动齿轮和用于驱动所述驱动齿轮的驱动动力源；传动连接板，设有传动轴；所述传动轴的相对两端分别设有第一传动齿轮和第二传动齿轮，所述第一传动齿轮与所述驱动齿轮啮合；以及至少两个转动轴，分别与至少两个所述工位平台中的所述平台底座轴接；所述转动轴上设有转动齿轮；至少两个辅助传动轮，其中,一个辅助传动轮位于一个所述转动轴与所述第二传动齿轮之同且分别与一个所述转动轴上的转动齿轮和所述第二传动齿轮相啮合, 另一个辅助传动轮位于另一个所述转动轴与所述第二传动齿轮之同且分别与另一个所述转动轴上的转动齿轮和所述第二传动齿轮相啮合；所述转动机构还包括：角度传感器或位置传感器，用于检测至少两个所述工位平台的转动角度或位置变化量。