[发明专利]一种环保光刻胶清洗液及其制备方法

摘要

本发明公开了一种环保光刻胶清洗液及其制备方法，该清洗液包括以下组分：5‑丁基海因酸、富马酸二甲酯、三(3‑甲氧基苯基)膦、十四烷基二甲基甜菜碱、油酸聚乙二醇酯、茶皂素、碳分子筛、癸基葡糖苷、水杨酸异丁酯、D‑塔罗糖醇、2‑（二乙醇胺基）乙磺酸、白桦脂酸、紫罗兰酮、二烯丙基二甲基氯化铵、月桂酰二乙醇胺份、聚乙二醇双酸酯、脱氢松香酸、α‑松油醇、去离子水。本发明制备的光刻胶清洗剂的清洗效果佳，无腐蚀，在清洗力和不腐蚀基材两个性能上达到一个良好的平衡。此外，该光刻胶清洗剂中不存在大量的酸碱试剂，对环境危害小，也无需增加额外的续处理成本，市场应用前景良好。

主权项

一种环保光刻胶清洗液，其特征在于，包括以下重量份的组分：5‑丁基海因酸5‑12份、富马酸二甲酯2‑6份、三(3‑甲氧基苯基)膦2‑8份、十四烷基二甲基甜菜碱4‑10份、油酸聚乙二醇酯3‑8份、茶皂素1‑5份、碳分子筛1‑4份、癸基葡糖苷2‑6份、水杨酸异丁酯2‑6份、D‑塔罗糖醇1‑4份、2‑（二乙醇胺基）乙磺酸2‑6份、白桦脂酸3‑7份、紫罗兰酮0.2‑1份、二烯丙基二甲基氯化铵1‑3份、月桂酰二乙醇胺1‑4份、聚乙二醇双酸酯0.8‑3份、脱氢松香酸2‑6份、α‑松油醇5‑9份、去离子水18‑25份。