[发明专利]一种具有三维结构的半导体晶圆有效
申请号: | 201610736822.5 | 申请日: | 2016-08-29 |
公开(公告)号: | CN106129108B | 公开(公告)日: | 2023-08-22 |
发明(设计)人: | 王俊;邓建伟;沈征 | 申请(专利权)人: | 洛阳鸿泰半导体有限公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06 |
代理公司: | 北京远创理想知识产权代理事务所(普通合伙) 11513 | 代理人: | 卫安乐 |
地址: | 471023 河南省洛阳市高*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 一种具有三维结构的半导体晶圆,涉及一种半导体晶圆,由半导体晶圆、连接层、导通层和保护层构成,导通层上设有保护层,在半导体晶圆上设有连接层和导通层,连接层和导通层设置在半导体晶圆的任意面上;本发明实用性强,使用起来比较简单,控制方案严密、协调、效果好、设计巧妙,易于实施,在节能的同时也极大的方便了客户的需求,同时也极大的提高半导体性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 三维 结构 半导体 | ||
【主权项】:
一种具有三维结构的半导体晶圆,包括半导体晶圆、连接层、导通层和保护层,导通层上设有保护层,其特征是:在半导体晶圆上设有连接层和导通层,连接层和导通层设置在半导体晶圆的任意面上。
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