[发明专利]一种具有三维结构的半导体晶圆有效

专利信息
申请号: 201610736822.5 申请日: 2016-08-29
公开(公告)号: CN106129108B 公开(公告)日: 2023-08-22
发明(设计)人: 王俊;邓建伟;沈征 申请(专利权)人: 洛阳鸿泰半导体有限公司
主分类号: H01L29/06 分类号: H01L29/06
代理公司: 北京远创理想知识产权代理事务所(普通合伙) 11513 代理人: 卫安乐
地址: 471023 河南省洛阳市高*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 一种具有三维结构的半导体晶圆,涉及一种半导体晶圆,由半导体晶圆、连接层、导通层和保护层构成,导通层上设有保护层,在半导体晶圆上设有连接层和导通层,连接层和导通层设置在半导体晶圆的任意面上;本发明实用性强,使用起来比较简单,控制方案严密、协调、效果好、设计巧妙,易于实施,在节能的同时也极大的方便了客户的需求,同时也极大的提高半导体性能。
搜索关键词: 一种 具有 三维 结构 半导体
【主权项】:
一种具有三维结构的半导体晶圆,包括半导体晶圆、连接层、导通层和保护层,导通层上设有保护层,其特征是:在半导体晶圆上设有连接层和导通层,连接层和导通层设置在半导体晶圆的任意面上。
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