[发明专利]一种全背接触光伏电池的金属化方法及电池、组件和系统

摘要

本发明涉及一种全背接触光伏电池的金属化方法及电池、组件和系统。本发明的全背接触光伏电池的金属化方法，包括在N型晶体硅基体上制作全背接触结构、在背表面钝化膜上选择性开孔、背表面沉积铝、背表面印刷选择性掩膜、刻蚀未被掩膜覆盖处的铝、去除掩膜形成互相绝缘的p+铝电极和n+铝电极。其有益效果是：在金属化过程中，用点状接触取代线条状接触，减少了金属电极与掺杂硅界面处的高复合；使用低温工艺形成铝电极，不会给掺杂硅表面带来破坏；铝与掺杂硅之间有优异的金属半导体接触；由此所制电池具有更高的开路电压、填充因子和转换效率。

主权项

一种全背接触光伏电池的金属化方法，其特征在于：包括以下步骤：(1)分别对N型晶体硅基体的前表面和背表面进行掺杂处理，在N型晶体硅基体的前表面形成n+掺杂前表面场，在N型晶体硅基体的背表面形成相互交替排列的背表面n+掺杂区域和背表面p+掺杂区域；并在N型晶体硅基体的前表面形成前表面钝化减反膜，在N型晶体硅基体的背表面形成背表面钝化膜；(2)、在背表面n+掺杂区域和背表面p+掺杂区域上方开设贯穿背表面钝化膜的n+孔状阵列和p+孔状阵列；(3)、在步骤(2)处理后的N型晶体硅基体的背表面沉积铝层；(4)、在n+孔状阵列区域和p+孔状阵列区域印刷耐酸掩膜，将N型晶体硅基体放入酸性刻蚀液中，去除未被耐酸掩膜覆盖区域的铝层，形成相互电绝缘的p+铝电极和n+铝电极；(5)、将步骤(4)处理后的N型晶体硅基体放入碱性溶液中，去除耐酸掩膜，得到全背接触光伏电池。