[发明专利]LDI曝光机能量均匀性检测方法

摘要

本发明公开了一种LDI曝光机能量均匀性检测方法，包括以下步骤准备测试板和干膜，并在所述测试板上设置定位孔；制作曝光图形文件，所述曝光图形文件内设定有与曝光机内所需检测的能量区一一对应的图形区，每个所述图形区均设定有宽度信息值；将所述干膜贴设于所述测试板上；将贴设干膜的所述测试板材放入曝光机中，曝光机抓取定位孔，根据所述曝光图形文件对所述测试板进行曝光处理；将经过曝光处理的测试板进行显影处理；测定测试板上干膜各显影区宽度；比较每个所述显影区和与之对应的所述图形区的宽度大小。本发明通过测定测试板上各显影区的宽度，并与图形区宽度进行比对，从而来判断曝光机的能量均匀性，本发明操作简便，检测精度高。

主权项

一种LDI曝光机能量均匀性检测方法，其特征在于，包括以下步骤：准备测试板和干膜，并在所述测试板上设置定位孔；制作曝光图形文件，所述曝光图形文件内设定有与曝光机内所需检测的能量区一一对应的图形区，每个所述图形区均设定有宽度信息值；将所述干膜贴设于所述测试板上；将贴设干膜的所述测试板材放入曝光机中，曝光机抓取定位孔，根据所述曝光图形文件对所述测试板进行曝光处理；将经过曝光处理的测试板进行显影处理；测定测试板上干膜各显影区宽度；比较每个所述显影区和与之对应的所述图形区的宽度大小；判断显影区和与之对应的图形区的宽度差值是否超过预设值，若超过所述预设值，则调整曝光机对应能量区的能量值，并重复以下步骤：将干膜贴设于所述测试板上；将贴设干膜的所述测试板材放入曝光机中，曝光机抓取定位孔，根据所述曝光图形文件对所述测试板进行曝光处理；将经过曝光处理的测试板进行显影处理；测定测试板上干膜各显影区宽度；比较每个所述显影区和与之对应的所述图形区的宽度大小，并判断两者宽度差值是否超过所述预设值，直至两者宽度差值小于或等于所述预设值；若不超过预设值，则测试板去膜，以待下次检测用。