[发明专利]一种大单晶双层石墨烯及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201610737647.1 申请日: 2016-08-26
公开(公告)号: CN106335897B 公开(公告)日: 2019-02-26
发明(设计)人: 陈珊珊;王伟伟;陈香萍 申请(专利权)人: 中国人民大学
主分类号: C01B32/186 分类号: C01B32/186
代理公司: 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 代理人: 关畅;王春霞
地址: 100872 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种大单晶双层石墨烯的制备方法。该制备方法包括如下步骤:利用单层石墨烯作为种子层,采用化学气相沉积法在绝缘衬底上生长石墨烯,即在所述绝缘衬底上得到双层石墨烯。本发明使用单层石墨烯作为双层石墨烯生长的种子层,通过化学气相沉积控制双层石墨烯大面积的生长,实现双层石墨烯的堆叠结构控制。利用纳米铜粉等催化剂在高温下蒸出铜微粒,通过载气将铜蒸汽送到反应衬底处,催化裂解碳源,获得的碳原子或原子团通过气流飘到满单层石墨烯的衬底上,在单层石墨烯上外延生长双层石墨烯,提高生长效率,实现“自下而上”堆叠的制备方式。
搜索关键词: 一种 大单晶 双层 石墨 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种大单晶双层石墨烯的制备方法,包括如下步骤:利用单层石墨烯作为种子层,采用化学气相沉积法在覆盖所述单层石墨烯的绝缘衬底上生长石墨烯,即在所述绝缘衬底上得到双层石墨烯;所述化学气相沉积法包括如下步骤:将所述绝缘衬底和盛放有催化剂的石英管放置于反应腔中,且所述绝缘衬底与所述石英管之间设有间距;向所述反应腔中通入碳源和载气,加热所述反应腔,即在所述单层石墨烯上生长石墨烯得到所述双层石墨烯;所述催化剂为纳米铜粉;所述间距为5~10cm。
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