[发明专利]一种样品承载台及双束系统电子显微镜有效
申请号: | 201610737674.9 | 申请日: | 2016-08-26 |
公开(公告)号: | CN106449340B | 公开(公告)日: | 2018-06-15 |
发明(设计)人: | 杜海英 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20;H01J37/26 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 钟子敏 |
地址: | 518006 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供了一种双束系统电子显微镜,包括:离子切割机、电子摄像机、样品承载台及驱动机构;其中,所述离子切割机的切割方向、所述电子摄像机的光轴方向之间存在夹角,且均朝向所述样品承载台;所述样品承载台包括样品插槽,所述样品插槽具有第一预定角度的斜角,用于以所述第一预定角度收纳具有断裂面的样品;所述离子切割机用于以削平所述样品断裂面的方向,对所述样品断裂面进行加工,所述驱动机构用于至少在所述样品的断裂面被加工后,驱动所述样品承载台旋转,进而带动所述样品旋转至所述样品的断裂面正对且垂直于所述电子摄像机的光轴。本发明还提供一种双束系统电子显微镜用样品承载台。 1 | ||
搜索关键词: | 样品承载台 电子摄像机 电子显微镜 离子切割机 双束系统 断裂面 驱动机构 插槽 断裂 光轴方向 切割方向 收纳 削平 光轴 斜角 正对 加工 垂直 驱动 | ||
离子切割机、电子摄像机、样品承载台及驱动机构;
其中,所述离子切割机的切割方向、所述电子摄像机的光轴方向之间存在夹角,且均朝向所述样品承载台;
所述样品承载台包括样品插槽,所述样品插槽具有第一预定角度的斜角,用于以所述第一预定角度收纳具有断裂面的样品,所述样品承载台包括凹形载具和间隔块,所述凹形载具的至少一内侧壁具有所述第一预定角度,所述间隔块的至少一侧壁也具有所述第一预定角度,所述间隔块设置于所述凹形载具内,所述间隔块的所述至少一侧壁与所述凹形载具的所述至少一内侧壁间隔且相对设置,形成一所述插槽;
所述离子切割机用于以削平所述样品断裂面的方向,对所述样品断裂面进行加工,所述驱动机构用于至少在所述样品的断裂面被加工后,驱动所述样品承载台旋转,进而带动所述样品旋转至所述样品的断裂面正对且垂直于所述电子摄像机的光轴。
2.根据权利要求1所述的显微镜,其特征在于,所述斜角斜面与所述离子切割机的切割方向相差90度;或
所述斜角斜面与所述离子切割机的切割方向相差角度不等于90度,所述驱动机构在对所述样品断裂面进行加工之前,驱动所述样品承载台旋转第二预定角度,使得所述样品垂直于所述离子切割机的切割方向。
3.根据权利要求2所述的显微镜,其特征在于,所述斜角斜面与所述离子切割机的切割方向相差角度不等于90度的情况下,
所述离子切割机的切割方向与参考面之间的角度大于所述斜角的第一预定角度,所述第一预定角度是基于所述参考面而得出;或
所述离子切割机的切割方向与参考面之间的角度小于所述斜角的第一预定角度。
4.根据权利要求1所述的显微镜,其特征在于,所述间隔块的两相背侧壁均具有所述第一预定角度;
进一步包括夹持块和第一螺柱,所述夹持块的一侧壁具有所述第一预定角度,且与所述间隔块的一所述侧壁间隔且相对设置,形成另一所述插槽;
背对的所述夹持块另一侧壁与所述凹形载具的一内侧壁相对设置,且设有至少一盲孔,与所述夹持块相对的所述凹形载具侧壁上设有至少一第一贯穿孔,所述第一贯穿孔具有与所述第一螺柱配合的内螺纹,所述第一螺柱贯穿所述第一贯穿孔且进入所述盲孔,抵顶所述夹持块以配合夹持所述样品。
5.根据权利要求4所述的显微镜,其特征在于,进一步包括第二螺柱,所述间隔块设有上下贯通的第二贯穿孔,所述第二贯穿孔具有与所述第二螺柱配合的内螺纹,所述第二螺柱从上进入所述第二贯穿孔,以调节所述间隔块的高度。
6.根据权利要求5所述的显微镜,其特征在于,所述间隔块设有上下贯通的至少一个第三贯穿孔,所述第三贯穿孔具有与所述第一螺柱配合的内螺纹,所述第一螺柱从上进入所述第三贯穿孔,以与所述第二贯穿孔、第二螺柱共同配合调节间隔块的高度。
7.一种双束系统电子显微镜用样品承载台,其特征在于,包括:所述样品承载台包括样品插槽,所述样品插槽具有第一预定角度的斜角,用于以第一预定角度收纳具有断裂面的样品,其中,所述样品承载台包括凹形载具和间隔块,所述凹形载具的至少一内侧壁具有所述第一预定角度,所述间隔块的至少一侧壁也具有所述第一预定角度,所述间隔块设置于所述凹形载具内,所述间隔块的所述至少一侧壁与所述凹形载具的所述至少一内侧壁间隔且相对设置,形成一所述插槽。
8.根据权利要求7所述的样品承载台,其特征在于,所述间隔块的两相背侧壁均具有所述第一预定角度;
进一步包括夹持块和第一螺柱,所述夹持块的一侧壁具有所述第一预定角度,且与所述间隔块的一所述侧壁间隔且相对设置,形成另一所述插槽;
背对的所述夹持块另一侧壁与所述凹形载具的一内侧壁相对设置,且设有至少一盲孔,与所述夹持块相对的所述凹形载具侧壁上设有至少一第一贯穿孔,所述第一贯穿孔具有与所述第一螺柱配合的内螺纹,所述第一螺柱贯穿所述第一贯穿孔且进入所述盲孔,抵顶所述夹持块以配合夹持所述样品。
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