[发明专利]集成光收发模块及其制备方法

摘要

本发明公开了一种有源光缆的集成光收发模块及其制备方法，该模块包括至少一个矩形氧化硅光波导、两个45°的V型槽、至少一个垂直腔面激光器、至少一个光子探测器。垂直腔面激光器以及探测器均通过焊点与金属电极相连，折射率匹配胶起到折射率匹配作用。本发明相比于传统收发模块具有封装小，速率高，功耗低，可批量制作等优点，因此可以大大提高系统稳定性和可靠性，并且有利于多通道的集成。

主权项

1.一种基于氧化硅矩形光波导的集成光收发模块，其特征在于：包括矩形氧化硅光波导、两个45°的V型槽、一个垂直腔面激光器、一个光子探测器，矩形氧化硅光波导开有两个45°的V型槽，一个V型槽的垂直顶端安装垂直腔面激光器，一个V型槽的垂直顶端安装光子探测器，两个45°的V型槽与水平成45°夹角边上分别镀有第一布拉格反射膜和第二布拉格反射膜，所述的两个45°的V型槽中的一个V型槽与水平成45°的边上，在第一布拉格反射膜或第二布拉格反射膜上，还平行镀有一层金属反射膜，所述的两个V型槽与垂直腔面激光器和光子探测器之间的空间内，填充有固化剂，按照如下步骤制备：（1）通过传统的氧化硅镀膜、光刻、腐蚀方法制作具有矩形氧化硅光波导的芯片；（2）利用与45°V型槽形状相同的刀头，由划片机在芯片上划出两个45°V型槽；（3）利用真空电子束热蒸发法，将布拉格反射膜镀于整个芯片的上表面；（4）利用真空电子束热蒸发法、光刻、刻蚀或剥离的工艺，镀上金属反射膜以及金属导线，并形成所需图形；（5）利用真空电子束热蒸发法或电镀法，在金属电极适当的位置制作焊点；（6）通过倒装焊接方法，将垂直腔面激光器和光子探测器分别与对应的金属电极焊接，集成于对应的45°V型槽之上；（7）将固化胶填充到45°V型槽内，直至充满整个45°V型槽。