[发明专利]光阻涂布设备及涂布设备用喷嘴有效
| 申请号： | 201610742751.X | 申请日： | 2016-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN106076744B | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 但清华 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05B15/52 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 钟子敏 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光阻涂布设备，该设备包括喷嘴、光阻容纳机构、涂布驱动机构及刮拭机构；其中，所述喷嘴与所述光阻容纳机构连接，所述涂布驱动机构驱动所述光阻容纳机构内的光阻流向所述喷嘴；所述刮拭机构包括刮拭元件及刮拭驱动机构，所述刮拭驱动机构驱动所述刮拭元件对所述喷嘴进行刮拭。本发明还公开了一种涂布设备用喷嘴。本发明光阻涂布设备通过利用刮拭驱动机构驱动所述刮拭元件对所述喷嘴进行刮拭，能够高效地在短时间内完成对喷嘴的维护和保养，对涂布单元内的环境也不会造成影响，风险小，且节省人力。 | ||
| 搜索关键词： | 光阻涂 布设 备用 喷嘴 | ||
【主权项】：
1.一种光阻涂布设备，其特征在于，包括：喷嘴、光阻容纳机构、涂布驱动机构及刮拭机构；其中，所述喷嘴与所述光阻容纳机构连接，所述涂布驱动机构驱动所述光阻容纳机构内的光阻流向所述喷嘴；所述刮拭机构包括刮拭元件及刮拭驱动机构，所述刮拭驱动机构驱动所述刮拭元件对所述喷嘴进行刮拭；其中，所述刮拭元件包括固定件和刮线，所述固定件数量为二，且相对固定于所述喷嘴两端，所述刮线两端分别固定于两个所述固定件；所述刮拭驱动机构驱动所述固定件沿所述喷嘴的喷液口方向来回移动，以带动所述刮线在所述喷液口内来回刮拭，在刮拭结束后驱动所述刮线离开所述喷液口。
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