[发明专利]一种基于金属/金属氧化物的QLED器件及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201610743554.X 申请日: 2016-08-29
公开(公告)号: CN106252521B 公开(公告)日: 2019-12-10
发明(设计)人: 王宇;曹蔚然;杨一行;钱磊 申请(专利权)人: TCL集团股份有限公司
主分类号: H01L51/50 分类号: H01L51/50;H01L51/52;H01L51/56
代理公司: 44268 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 王永文;刘文求
地址: 516006 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开一种基于金属/金属氧化物的QLED器件及其制备方法。制备方法包括:步骤A、将金属单质沉积到衬底上;步骤B、对所述金属单质进行氧化处理,使所述金属单质上生长出金属氧化物;步骤C、对所述衬底进行退火处理,使金属单质与金属氧化物进一步融合;步骤D、在所述衬底上依次沉积空穴传输层、量子点发光层、电子传输层;步骤E、在沉积完各功能层的衬底上制作阴极,完成QLED器件的制备。通过本发明的方法,使得金属电极和金属氧化物之间没有明显的界面,进而减少了界面的缺陷态,从而增加了载流子的传输效率,提高器件的性能。这种金属/金属氧化物的结构降低了载流子传输的势垒,提高了器件的效率。
搜索关键词: 一种 基于 金属 氧化物 qled 器件 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种基于金属/金属氧化物的QLED器件的制备方法,其特征在于,包括:/n步骤A、将金属单质沉积到衬底上;/n步骤B、对所述金属单质进行氧化处理,使所述金属单质上生长出金属氧化物;/n步骤C、对所述衬底进行退火处理,使界面处金属单质与金属氧化物进一步融合;/n步骤D、在所述衬底上依次沉积空穴传输层、量子点发光层、电子传输层;/n步骤E、在沉积完各功能层的衬底上制作阴极,完成QLED器件的制备;/n在所述步骤C与所述步骤D之间还包括:/n去除所述衬底表面的部分金属氧化物以露出部分所述金属单质。/n
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