[发明专利]整体式碳碳坩埚及其制造方法

摘要

本发明公开了一种整体式碳碳坩埚及其制造方法，该制造方法主要包括以下步骤：（1）整体针刺毡预制体制作；（2）对预制体进行预定型；（3）在碗型底部开三个圆周均布圆形通孔；（4）对预制体继续进行CVD增密；（5）对坩埚进行高温石墨化处理；（6）对坩埚进行机械加工，将碗部三个圆周均布孔加工成通孔；（7）加工相配合的堵头；（8）将堵头敲进坩埚碗部；（9）CVD涂层。本发明解决了现有整体式碳碳坩埚在CVD增密过程由于整体坩埚形状原因导致的增密气体在炉内滞留时间延长、局部区域压力增大而使得增密效率低，并且容易产生炭黑的难题，此外，采用该方法还可以大幅度提高单炉/单料柱产量。

主权项

1.整体式碳碳坩埚的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）整体针刺毡预制体制作；（2）对预制体进行50‑80小时预定型；（3）预定型之后在碗型底部开三个圆周均布圆形通孔；（4）对预制体继续进行2‑3次CVD增密，每次时间100‑120小时；（5）对坩埚进行高温石墨化处理；（6）对坩埚进行机械加工，将碗部三个圆周均布孔加工成通孔；（7）按紧配合尺寸公差加工三个相同尺寸的堵头；（8）将三个堵头敲进坩埚碗部，形成整体坩埚，再对坩埚进行整体加工到最终尺寸；（9）对整体加工过的碳碳坩埚进行CVD涂层。