[发明专利]晶片吸附台

摘要

本发明的目的在于，提供一种能够以低成本在不使晶片变形的情况下以充分的吸附压力将晶片吸附于台的晶片吸附台。本申请发明的晶片吸附台是在内部具有空间的晶片吸附台，具备：装载面，装载晶片；多孔质部，以表面露出于该装载面、背面与该空间相接的方式形成在该晶片吸附台内；以及连结部，与该空间连接并且延伸至该晶片吸附台外部。而且，该多孔质部的特征在于越是远离该连结部的部分形成得越薄。

主权项

1.一种晶片吸附台，在内部具有空间，其特征在于，具备：装载面，装载晶片；多孔质部，以表面露出于所述装载面、背面与所述空间相接的方式形成在所述晶片吸附台内；以及连结部，与所述空间连接并且延伸至所述晶片吸附台外部，在所述多孔质部中，越是远离所述连结部的部分形成得越薄，在所述晶片吸附台的最外周以包围所述装载面的方式形成有具有高度比所述装载面低的上表面的低洼部，在形成有所述装载面的部分与所述低洼部之间，形成了对所述装载面与所述低洼部的上表面进行连接的曲面，所述多孔质部的细孔孔径为10μm以下。