[发明专利]多片拼接靶材绑定方法在审
| 申请号： | 201610753540.6 | 申请日： | 2016-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN106337167A | 公开（公告）日： | 2017-01-18 |
| 发明（设计）人： | 石煜;曾探;罗永春;曾墩风 | 申请（专利权）人： | 芜湖映日科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司32243 | 代理人： | 胡定华 |
| 地址： | 241009 安徽省芜湖*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种多片拼接靶材绑定方法，针对传统平面溅射靶材绑定技术的操作缓慢和长时间高温操作而改进.现采用多片靶材一次性拼接绑定，将打破传统的绑定技术，有效提高了绑定的效率和靶材贴合度的一致性.大幅缩短了工作人员高温作业时间，提高了产品质量，解决了靶材涂铟工作涂铟过久高温氧化的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 拼接 绑定 方法 | ||
【主权项】：
一种多片拼接靶材绑定方法，其特征在于：所述绑定方法步骤如下：步骤一：首先把一块平面铝板正反两面平整贴上相同大小的茶色高温胶带；步骤二：然后把铝板平放,边缘顶靠在90度L形铝板内侧，把单片靶材金属化面朝上放在铝板的最前端,紧靠L形铝板；步骤三：接着把第2片靶材紧挨着第一片靶材，并顶靠着L形铝板用相同方法放下；步骤四：照上述做法依次放10片相同规格靶材；步骤五：10片靶材拼接起来有9条缝隙，缝隙从靶材一端到另一端依次放入的间隔片。
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