[发明专利]晶圆搬运装置改良结构

摘要

本发明公开了一种晶圆搬运装置改良结构，主要结构包括一具有复数移动轮的移动载具、一枢设于移动载具上并藉一驱动马达摆动的活动摆臂、一枢设于活动摆臂背离驱动马达一端的夹持装置、及一设于活动摆臂内的传动组件，系包含一固定轮、一设于夹持装置一侧供夹持装置转动的转动轮、及一连结转动轮及固定轮的传动带，系使活动摆臂及转动轮同步反向旋转。采用上述方案后，以移动轮增加移动载具的移动便利性，而方便的转移晶圆至其他装置，并利用传动组件使夹持装置与活动摆臂同步反向转动，而维持搬运过程的稳定水平。

主权项

一种晶圆搬运装置改良结构，其特征在于：包含：一移动载具；复数设于该移动载具一侧的移动轮，系供该移动载具自由移动；一枢设于该移动载具上的活动摆臂，系直接透过一驱动马达进行摆动；一枢设于该活动摆臂背离该驱动马达一端的夹持装置；及一设于该活动摆臂内饿传动组件，该传动组件系包含一与该驱动马达同轴设置的固定轮、一设于该夹持装置一侧供转动该夹持装置的转动轮、及一连结该转动轮及该固定轮的传动带，系使该活动摆臂及该转动轮同步反向旋转，以此维持该夹持装置保持水平。