[发明专利]低成本压力感测器制作方法及其结构有效
| 申请号： | 201610756034.2 | 申请日： | 2016-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN106445226B | 公开（公告）日： | 2019-09-10 |
| 发明（设计）人： | 陈俊铭;蔡缘蓁;陈秉杨;江英杰 | 申请（专利权）人： | 业成科技（成都）有限公司;业成光电（深圳）有限公司;英特盛科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F3/041 | 分类号： | G06F3/041 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 何平 |
| 地址： | 610000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明是公开一种低成本压力感测器制作方法及其结构，利用铜、铝或其合金取代氧化铟锡(ITO)、银等做为导电层的材质，并将导电层做特殊的热处理，使其表面生成厚度不大于15纳米(nm)的氧化铜薄膜或氧化铝薄膜，氧化铜薄膜或氧化铝薄膜可提供绝缘层的效果。此外，本创作还改变堆叠方式，将原本用于承载的基板当作水气阻绝、保护层，可提升环测能力，省去封胶制程以及降低制作成本。 | ||
| 搜索关键词： | 低成本 压力 感测器 制作方法 及其 结构 | ||
【主权项】：
1.一种低成本压力感测器制作方法，其特征在于，包括下列步骤：提供一被黏着层、一黏接剂、一导电层、一绝缘间隔层、一感应电路层以及一基材层，该导电层以及该感应电路层为铜或铝材料所制成；将该黏接剂涂布于该被黏着层上以形成一黏接层；将该导电层进行一热处理，于该导电层表层产生一氧化铜薄膜或一氧化铝薄膜；将该导电层与该黏接层相连接；将该绝缘间隔层电镀于该导电层上；将该感应电路层进行一热处理，于该感应电路层表层产生一氧化铜薄膜或一氧化铝薄膜；将该感应电路层贴镀于该绝缘间隔层上；以及将该基材层与该感应电路层相连接。
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