[发明专利]电子部件搬运装置以及电子部件检查装置在审
| 申请号： | 201610756301.6 | 申请日： | 2016-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN106483446A | 公开（公告）日： | 2017-03-08 |
| 发明（设计）人： | 桐原大辅;前田政己;下岛聪兴;高田冬生 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 青炜,尹文会 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供电子部件搬运装置以及电子部件检查装置，能够将电子部件高精度地控制在目的温度。电子部件搬运装置具有臂部(50)，其能够搬运多个电子部件；分配部，其设置于臂部(50)，能够将冷却多个电子部件的制冷剂向多个流路分配；以及收集部，其设置于臂部(50)，能够从多个流路收集对多个电子部件进行了冷却之后的制冷剂。另外，电子部件检查装置具有臂部(50)，其能够搬运多个电子部件；分配部，其设置于臂部(50)，能够将冷却多个电子部件的制冷剂向多个流路分配；收集部，其设置于臂部(50)，能够从多个流路收集对多个电子部件进行了冷却之后的制冷剂；以及检查部，其检查电子部件。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 部件 搬运 装置 以及 检查 | ||
【主权项】：
一种电子部件搬运装置，其特征在于，具有：臂部，其能够搬运多个电子部件；分配部，其设置于所述臂部，能够将冷却所述多个电子部件的制冷剂向多个流路分配；以及收集部，其设置于所述臂部，能够从多个流路收集对所述多个电子部件进行了冷却之后的制冷剂。
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