[发明专利]微型高分辨率光谱仪有效
| 申请号： | 201610757246.2 | 申请日： | 2016-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN106352982B | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 黄梅珍;汪洋;王柯卉;陈婕;陈晓帆 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01J3/28 | 分类号： | G01J3/28 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 徐红银;郭国中 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微型高分辨率光谱仪，所述光谱仪包括：狭缝、准直透镜、棱镜、会聚透镜、线阵或面阵CCD传感器、反射镜组和法珀腔，其中：所述反射镜组使用两面反射镜，与法珀腔构成一循环光路系统，两面反射镜将法珀腔反射回来的光再次收集，使之重新反射至法珀腔，如此循环利用，实现更高的能量利用率。本发明利用法珀腔获得分辨率极高的光谱，通过设计循环光路系统，产生一系列不同入射角的光，经过法珀腔和会聚镜聚焦后，在探测面上产生一系列不同波长的分立的光谱输出，实现多波长通道的光谱测量。本发明不需要扫描，简化了机构，缩小了体积，提高了光谱测量系统的稳定性，又提高了测量速度。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 高分辨率 光谱仪 | ||
【主权项】：
1.一种微型高分辨率光谱仪，其特征在于：所述光谱仪包括：狭缝、准直透镜、棱镜、会聚透镜、线阵或面阵CCD传感器、反射镜组和法珀腔，其中：所述反射镜组使用两面反射镜，与法珀腔构成一循环光路系统，两面反射镜将法珀腔反射回来的光再次收集，使之重新反射至法珀腔，如此循环利用，实现更高的能量利用率；所述法珀腔竖直设置，反射镜组中两面反射镜置于法珀腔前，相对于法珀腔的法线对称设置，并与法珀腔有一夹角，两面反射镜间有一间隙方便光线入射；棱镜置于反射镜组之前，用于调整入射光的宽度；狭缝和准直透镜组成准直系统并处于整个光路的最前方；在法珀腔的后方设置会聚透镜，用于使光线聚焦到线阵或面阵CCD传感器上。
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