[发明专利]声光偏转器与共振扫描器的并行扫描装置

摘要

本发明公开了一种声光偏转器与共振扫描器的并行扫描装置，其包括声光偏转器、共振扫描器、光路切换组件和控制器，控制器首先用于控制光路切换组件使入射激光进入声光偏转器所在的第一扫描支路，或者控制光路切换组件使入射激光进入共振扫描器所在的第二扫描支路，以及控制光路切换组件使得第一扫描支路及第二扫描支路的激光束统一出射路径。

主权项

1.一种声光偏转器与共振扫描器的并行扫描装置，其特征在于，所述并行扫描装置包括声光偏转器、共振扫描器、光路切换组件和控制器，所述控制器首先用于控制所述光路切换组件使入射激光进入声光偏转器所在的第一扫描支路，或者控制所述光路切换组件使入射激光进入所述共振扫描器所在的第二扫描支路，以及控制所述光路切换组件使得所述第一扫描支路及所述第二扫描支路的激光束统一出射路径；所述光路切换组件包括第一二分之一波片、第二二分之一波片、第一偏振分光器、第二偏振分光器、第一反射镜和第二反射镜，所述入射激光经第一二分之一波片到达所述第一偏振分光器，第一偏振分光器将所述入射激光分为水平偏振光和垂直偏振光，所述控制器控制所述垂直偏振光进入所述第一扫描支路经声光偏转器再由第二反射镜反射和第二偏振分光器偏振后到达所述出射路径，或者控制所述水平偏振光依次经由第一反射镜反射后进入所述第二扫描支路依次经所述第二二分之一波片、共振扫描器和第二偏振分光器后到达所述出射路径；或者，所述光路切换组件包括第一电动反射镜、第二电动反射镜、第一反射镜和第二反射镜，所述控制器控制所述第一电动反射镜离开光路以及使所述第二电动反射镜进入光路以使所述入射激光进入所述第一扫描支路通过所述声光偏转器再经由第二反射镜和第二电动反射镜反射后到达所述出射路径，或者控制所述第一电动反射镜进入光路以及使所述第二电动反射镜离开光路以使所述入射激光经由所述第一电动反射镜和第一反射镜反射后进入所述第二扫描支路通过所述共振扫描器最后达到所述出射路径。