[发明专利]一种旋转钼靶材的焊接方法有效

专利信息
申请号: 201610762764.3 申请日: 2016-08-30
公开(公告)号: CN106270866B 公开(公告)日: 2018-08-21
发明(设计)人: 张学文;胡清熊;祝永华;李云 申请(专利权)人: 常州苏晶电子材料有限公司
主分类号: B23K1/00 分类号: B23K1/00;B23K1/19;B23K1/20
代理公司: 常州知融专利代理事务所(普通合伙) 32302 代理人: 张晓东
地址: 213000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及靶材焊接技术领域,更具体地说,涉及一种旋转钼靶材的焊接方法,该方法包括:材料准备、在竖直方向上的第一旋转钼靶材的焊接、将焊接装置倒立后的第二旋转钼靶材的焊接以及第三旋转钼靶材的焊接。本发明的技术方案中采用的铟基钎料可完全满足靶材的导电导热性能要求,铟基钎料及背管可以循环使用,采用竖立钎焊方式可方便操作者对旋转钼靶材与背管相对稳定尺寸的获得,靶材内部残余应力较低,工艺操作简单,方便实用,适宜进一步推广应用。
搜索关键词: 钼靶材 焊接 靶材 背管 铟基 导电导热性能 焊接技术领域 材料准备 残余应力 方便操作 工艺操作 焊接装置 钎焊方式 倒立 钎料 竖直 竖立
【主权项】:
1.一种旋转钼靶材的焊接方法,其特征在于:该焊接方法包括如下步骤:(1)材料准备准备第一旋转钼靶材、第二旋转钼靶材、第三旋转钼靶材、背管、底座、焊料、加热器、定位密封套、夹具,对旋转钼靶材的结合面进行喷砂处理,对背管的结合面进行镀镍处理,底座上固定有与加热器连接的支架;(2)第一旋转钼靶材的焊接将定位密封套固定在底座上,背管固定在定位密封套内侧,第一旋转钼靶材套接在背管上且第一旋转钼靶材底部与定位密封套顶部固定,使第一旋转钼靶材、定位密封套和背管三者轴线重合,用加热器由内而外对背管与第一旋转钼靶材进行加热,将焊料分布在第一旋转钼靶材、定位密封套与背管三者之间的表面进行润湿处理;用加热器由内而外对背管与第一旋转钼靶材进行加热;将液态焊料由第一旋转钼靶材上部注入背管、定位密封套和第一旋转钼靶材三者形成的空间内,然后由下到上逐段冷却使焊料固化,将上述焊接好的结构旋转180°使第一旋转钼靶材处于背管顶部;(3)第二旋转钼靶材的焊接将第二旋转钼靶材和定位密封套依次由背管底部套接,夹具夹持在第二旋转钼靶材和支架之间,通过调整夹具使第二旋转钼靶材、定位密封套、背管三者轴线重合,使第二旋转钼靶材顶部与第一旋转钼靶材底部留出预留尺寸,且定位密封套抵接在第二旋转钼靶材底部和背管之间,由内而外对背管与第二旋转钼靶材进行加热,将焊料分布在第二旋转钼靶材、定位密封套与背管三者之间的表面进行润湿处理;用加热器由内而外对背管与第二旋转钼靶材进行加热;将液态焊料由第二旋转钼靶材上部注入背管、定位密封套和第二旋转钼靶材三者形成的空间内,然后由下到上逐段冷却使焊料固化,第三旋转钼靶材的焊接同第二旋转钼靶材的焊接方法。
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