[发明专利]一种锡球包裹的焊丝键合工艺及芯片封装方法有效
申请号: | 201610763464.7 | 申请日: | 2016-08-30 |
公开(公告)号: | CN106252246B | 公开(公告)日: | 2018-08-24 |
发明(设计)人: | 吴奇斌;吕磊;吴莹莹;吴涛;邱冬冬;李邦杰 | 申请(专利权)人: | 长电科技(滁州)有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60 |
代理公司: | 安徽知问律师事务所 34134 | 代理人: | 侯晔 |
地址: | 239000 安徽省滁州市经济*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种锡球包裹的焊丝键合工艺及芯片封装方法,属于芯片封测制造领域。通过如下步骤:a、植锡球:使用球焊机将锡丝进行加热,在芯片每个需要焊线的压区,预植一个锡球;b、叠球:使用球焊机将焊丝进行加热,在锡球上堆叠键合球;c、拱丝打点:堆叠键合球后,向上拱丝拉弧到框架管脚,形成线弧,同时线弧不接触芯片,框架管脚形成月牙形焊点;d、回流焊:将步骤c芯片放入回流焊机,进行回流焊,完成焊丝键合工艺。它可以实现避免芯片压区受损的效果,焊丝键合工艺成本低。 | ||
搜索关键词: | 一种 包裹 焊丝 工艺 芯片 封装 方法 | ||
【主权项】:
1.一种锡球包裹的焊丝键合工艺,步骤如下:a、植锡球:使用球焊机将锡丝进行加热,在芯片(3)每个需要焊线的压区,预植一个锡球(4);b、叠球:使用球焊机将焊丝进行加热,在锡球(4)上堆叠键合球(5);c、拱丝打点:堆叠键合球(5)后,向上拱丝拉弧到框架管脚(6),形成线弧,同时线弧不接触芯片,框架管脚(6)形成月牙形焊点;d、回流焊:将步骤c芯片放入回流焊机,进行回流焊,完成焊丝键合工艺;步骤d后,检测锡球(4)是否熔化后将键合球四周包裹,完成球焊,如未完成包裹,需要除去焊点锡球,重新进行植锡球工艺。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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