[发明专利]一种石墨舟片及石墨舟有效
申请号: | 201610765483.3 | 申请日: | 2016-08-30 |
公开(公告)号: | CN106169435B | 公开(公告)日: | 2019-07-12 |
发明(设计)人: | 静福印;黄红娜;何为晋;赵洪俊;廖海伦;王凯 | 申请(专利权)人: | 奥特斯维能源(太仓)有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 张海英;林波 |
地址: | 215434 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种石墨舟片及石墨舟,涉及石墨舟技术领域。石墨舟片上可拆卸的镶嵌有勾点保护套,所述勾点保护套内配合安装有勾点,所述勾点包括定位部,所述勾点的定位部与所述勾点保护套相互配合。本发明还提出设置有上述石墨舟片的石墨舟。本发明提出的石墨舟片,其上镶嵌有勾点保护套,在装卸勾点的过程中,避免了勾点与石墨舟片产生摩擦对石墨舟片造成的损伤,延长了石墨舟片的使用寿命,降低了生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 石墨 | ||
【主权项】:
1.一种石墨舟片,其特征在于,所述石墨舟片(1)上可拆卸的镶嵌有勾点保护套(2),所述勾点保护套(2)内配合安装有勾点(3),所述勾点包括定位部(31),所述勾点的定位部(31)与所述勾点保护套(2)相互配合,所述勾点保护套(2)内表面设置有内螺纹,所述勾点的定位部(31)设有外螺纹,所述内螺纹和外螺纹相互配合,所述勾点(3)还包括卡位部(32),所述卡位部(32)凸出于所述石墨舟片的表面,所述卡位部(32)的外端面设有至少两个标识部(33),所述标识部(33)位于以勾点(3)外端面的中心为圆心的圆上,任意两相邻的标识部(33)之间的夹角均相等,所述勾点保护套(2)的硬度大于勾点(3)的硬度。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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