[发明专利]一种脱胶机自动下料装置有效
申请号: | 201610765644.9 | 申请日: | 2016-08-30 |
公开(公告)号: | CN106158711B | 公开(公告)日: | 2019-01-22 |
发明(设计)人: | 张学强;靳立辉;杨明;崔振强;赵晓光;侯景洋;高翔 | 申请(专利权)人: | 天津中环半导体股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人: | 陈雅洁 |
地址: | 300384 天津市滨海新区高新区*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明提供了一种脱胶机自动下料装置,包括支撑架,所述支撑架上设置有横向线性模组,所述横向线性模组的滑块与纵向线性模组相连,所述纵向线性模组的滑块上连接有安装架,所述安装架上安装有机械手;所述支撑架下方设置有输送线A,所述输送线A处设置有传感器,所述输送线A一端设置有输送线B,所述输送线A另一端设置有输送线C;所述输送线B的外侧设置有料座AGV小车,所述输送线C的外侧设置有治具AGV小车。本发明所述的脱胶机自动下料装置结构设计合理,机械手可同时兼具料座和治具的抓取,无需更换工装,输送线可实现料座和治具的自动分离,实现物料自动搬运,可实现一人操作多台下料装置,有效提高了生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 脱胶 自动 装置 | ||
【主权项】:
1.一种脱胶机自动下料装置,其特征在于:包括支撑架(1),所述支撑架(1)上设置有横向线性模组(2),所述横向线性模组(2)的滑块A与纵向线性模组(3)相连,所述纵向线性模组(3)的滑块B上连接有安装架(4),所述安装架(4)上安装有机械手(5),所述滑块A可沿所述横向线性模组(2)的滑槽横向滑动,所述滑块B可沿所述纵向线性模组(3)的滑槽纵向滑动;所述机械手(5)包括安装座(51)、气缸(52)、气缸连接座(53)、连接块(54)、光轴(55)、取料座(58)、卡块(59)、勾爪(510),所述安装座(51)内部对称布置有两个尾端相对的气缸(52),所述气缸(52)固定在气缸连接座(53)上,所述气缸(52)的活塞杆与连接块(54)一侧相连,所述连接块(54)另一侧与光轴(55)一端相连,所述光轴(55)另一端与位于安装座(51)外侧的取料座(58)固定连接,所述取料座(58)面向安装座(51)的侧面上设置有卡块(59),所述取料座(58)背向安装座(51)的侧面上设置有勾爪(510);所述支撑架(1)下方设置有输送线A(6),所述输送线A(6)由电机A驱动,所述输送线A(6)处设置有传感器,所述输送线A(6)一端设置有输送线B(7),所述输送线B(7)由电机B驱动,所述输送线A(6)另一端设置有输送线C(11),所述输送线C(11)由电机C驱动;所述输送线B(7)的外侧设置有料座AGV小车(8),所述料座AGV小车(8)上端设置有料座输送装置(9),所述料座输送装置(9)与输送线B(7)对接,所述输送线C(11)的外侧设置有治具AGV小车(12),所述治具AGV小车(12)上端设置有治具输送装置(13),所述治具输送装置(13)与所述输送线C(11)对接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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