[发明专利]一种高速激光刻膜制版装置在审
申请号: | 201610767964.8 | 申请日: | 2016-08-30 |
公开(公告)号: | CN106292170A | 公开(公告)日: | 2017-01-04 |
发明(设计)人: | 黄振强;周蕴 | 申请(专利权)人: | 浙江启昊科技有限公司 |
主分类号: | G03F1/00 | 分类号: | G03F1/00;B23K26/362 |
代理公司: | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙)31218 | 代理人: | 翟羽 |
地址: | 325000 浙江省温州市高新技术*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种高速激光刻膜制版装置,包括装置本体和主控电路,所述装置本体上设有机械头,所述机械头的下方设有俯视镜头、激光扫描头、可视镜头、天然大理石扫描平台,天然大理石扫描平台的下方设有挡板、一级基座、二级基座,所述装置本体的内部设有电源模块、稳流器、主控电路、动力模块、非接触器传感器、控制模块,所述控制模块的一端设有存储模块、频分采样模块、光栅全闭环双向扫描模块、稳定超精密平台、高速磁浮驱动模块、密集频分倍速模块、转换模块、显示模块,扫描后的图像通过显示模块传送到显示器上,本装置在扫描的同时能够看到多角度的扫描图像。 | ||
搜索关键词: | 一种 高速 激光 制版 装置 | ||
【主权项】:
一种高速激光刻膜制版装置,包括装置本体(1)和主控电路(11),其特征在于:所述装置本体(1)的上方设有机械头(2),所述机械头(2)的下方设有激光扫描头(3),所述激光扫描头(3)的两侧设有俯视镜头(23),所述俯视镜头(23)、激光扫描头(3)固定在机械头(2)的下方,所述机械头(2)的下方设有天然大理石扫描平台(5),所述天然大理石扫描平台(5)的四个角上设有可视镜头(4),所述天然大理石扫描平台(5)的一侧设有挡板(6),所述天然大理石扫描平台(5)的下方设有一级基座(7),所述一级基座(7)的下方设有二级基座(8),所述一级基座(7)通过内部螺丝孔固定在二级基座(8)上,所述装置本体(1)的内部设有主控电路(11)。
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G03 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备
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