[发明专利]一种基于偏振成像的光学元件损伤检测装置及方法在审
| 申请号： | 201610768406.3 | 申请日： | 2016-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN106442538A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 赵发财;孙权社;王少水;王国权;郑祥亮;韩忠 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十一研究所 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/95 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266555 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于偏振成像的光学元件损伤检测装置及方法，包括：光源以及沿光源依次设置的光束扩束系统、线偏振起偏器、被测光学元件、成像系统、CCD探测器、处理计算机，被测光学元件和CCD探测器分别位于成像系统的物平面和像平面上，CCD探测器输出端与处理计算机输入端相连。本发明提出的基于偏振成像的光学元件损伤检测装置及方法，采用线偏振光照明光学元件，由偏振CCD探测器接收光学元件损伤点的散射光S与直接透射光T，获取相互正交的线偏振图像，并利用正交偏振图像的差异来滤除直接透射光，实现了对光学元件损伤点图像的增强，解决了光学元件成像检测方法存在图像分辨率与边缘定位精度、大尺寸损伤信息等难以兼顾的测量难题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 偏振 成像 光学 元件 损伤 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种基于偏振成像的光学元件损伤检测装置，其特征在于，包括：光源(1)以及沿所述光源(1)依次设置的光束扩束系统(2)、线偏振起偏器(3)、被测光学元件(4)、成像系统(5)、CCD探测器(6)、处理计算机(7)，所述的被测光学元件(4)和所述CCD探测器(6)分别位于所述成像系统(5)的物平面和像平面上，所述CCD探测器(6)输出端与所述处理计算机(7)输入端相连。
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