[发明专利]薄片状工件临时键合的加工方法

摘要

本发明公开了一种薄片状工件临时键合的加工方法，其特征在于：它包括以下步骤：步骤1、选取一载板，在载板的正面设置一隔离膜；步骤2、在隔离膜上涂覆一层键合胶；步骤3、将待加工的工件贴附于键合胶上；步骤4、对带有载板的工件进行加工处理；步骤5、将加工后的工件倒置于承载件上；步骤6、弯曲载板，使载板的任意边缘形成翘边，通过撕扯翘边至剥离载板；步骤7、弯曲隔离膜，使隔离膜的任意边缘形成翘边，通过撕扯翘边至剥离隔离膜。本发明提供一种薄片状工件临时键合的加工方法，其无需专用的键合或解键合的设备，即可完成工件的加工，因此加工工序简单、生产效率高，由此使加工成本和设备投入成本小。

主权项

一种薄片状工件的加工方法，其特征在于：它包括以下步骤：步骤1、选取一载板(1)，在载板(1)的正面设置一隔离膜(2)，所述载板(1)为可弯曲的材质制成；步骤2、在隔离膜(2)上涂覆一层键合胶(3)；步骤3、将待加工的工件(4)贴附于键合胶(3)上，通过键合胶(3)使工件(4)和隔离膜(2)键合；步骤4、对带有载板(1)的工件(4)进行加工处理；步骤5、将加工后的工件(4)倒置于承载件(5)上，且使工件(4)与承载件(5)粘接；步骤6、弯曲载板(1)，使载板(1)的任意边缘形成翘边，通过撕扯翘边至剥离载板(1)；步骤7、弯曲隔离膜(2)，使隔离膜的任意边缘形成翘边，通过撕扯翘边至剥离隔离膜(2)；步骤8、清洗工件(4)表面的键合胶(3)，并使工件(4)留于承载件(5)上。