[发明专利]阻抗测定装置及阻抗测定方法

摘要

本发明提供能够进行稳定的测定的阻抗测定装置及测定方法；利用多个测定频率进行下述测定并求出噪声少的测定频率，该测定是指：利用与测定信号同步且相位呈正交的两个基准信号、即同步信号，对未被供给测定信号状态下的测定对象、即试样中出现的检测信号进行同步检波，而测定试样的噪声电平；将噪声少的频率的测定信号供给试样，并利用基准信号对该检测信号进行同步检波而测定试样的阻抗；或者，对作为测定对象的试样提供规定频率的测定信号，生成与测定信号同步的基准信号并利用上述基准信号对试样中出现的检测信号进行同步检波；利用特性不同的多个低通滤波器使同步检波后的信号通过，选择多个低通滤波器中的任意一个，并且通过无噪声影响的测定值的取得而结束该选择。

主权项

一种阻抗测定装置，具备：对作为测定对象的试样提供规定频率的测定信号的交流电源，生成与所述测定信号同步的基准信号的基准信号生成部，以所述基准信号对所述试样中出现的检测信号进行同步检波的同步检波部，以及使同步检波后的信号通过的低通滤波器，所述阻抗测定装置的特征在于，所述基准信号生成部具有基准信号生成部件，该基准信号生成部件在所述试样未被供给测定信号的状态下，生成具有规定的测定用频率且相位正交的两个基准信号；所述同步检波部具有同步检波部件，该同步检波部件利用所述两个基准信号分别对处于未被供给测定信号的状态的试样中所出现的检测信号进行同步检波。