[发明专利]一种可调节式全角度蒸镀机构视窗有效
| 申请号： | 201610769936.X | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN106167891B | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 张银桥;潘彬 | 申请（专利权）人： | 南昌凯迅光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/52 |
| 代理公司： | 江西省专利事务所 36100 | 代理人： | 张静;张文 |
| 地址： | 330038 江西省南昌市红谷滩新*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可调节式全角度蒸镀机构视窗，包括：第一、第二旋转挡板及旋转视窗，第一、第二旋转挡板及旋转视窗通过同轴连接器依次同轴并列设置，第一、第二旋转挡板呈两个互补的扇形结构并结合组成圆形结构，第二旋转挡板通过转动调节其闭合与开启状态，旋转视窗通过视窗旋转轴控制，两个旋转挡板与旋转视窗通过固定轴连接。本发明通过可调节旋转挡板来全角度观察到蒸镀机腔室内部的运行情况，避免了在非观察期间旋转视窗造成的损伤，延长旋转视窗使用周期。本发明所述旋转挡板与旋转视窗的结构简单紧凑，使用方法简便，可视化窗口观察角度全面，易于更换和维护，延长了使用周期，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调节 角度 机构 视窗 | ||
【主权项】：
1.一种可调节式全角度蒸镀机构视窗，包括：第一旋转挡板，第二旋转挡板及旋转视窗，第一旋转挡板，第二旋转挡板及旋转视窗通过同轴连接器依次同轴并列设置，第一旋转挡板、第二旋转挡板呈两个互补的扇形结构并结合组成圆形结构，通过转动第二旋转挡板调节其闭合与开启状态，旋转视窗通过视窗旋转轴控制，两个旋转挡板与旋转视窗通过固定轴连接。
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