[发明专利]一种光热电分离的倒装LED芯片及其制作方法有效
申请号: | 201610770822.7 | 申请日: | 2016-08-30 |
公开(公告)号: | CN106449924B | 公开(公告)日: | 2018-07-27 |
发明(设计)人: | 陈亮;李俊贤;吕奇孟;吴奇隆;陈凯轩;张永 | 申请(专利权)人: | 厦门乾照光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/32 | 分类号: | H01L33/32;H01L33/12;H01L33/46;H01L33/36;H01L33/00 |
代理公司: | 厦门市新华专利商标代理有限公司 35203 | 代理人: | 廖吉保 |
地址: | 361000 福建省厦门市*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明公开一种光热电分离的倒装LED芯片,在衬底上形成缓冲层,在缓冲层上形成N‑GaN,在N‑GaN上形成有源层,在有源层上形成P‑GaN,依次部分蚀刻P‑GaN和有源层直至裸露部分N‑GaN;在P‑GaN上形成金属反射层,在裸露部分N‑GaN形成欧姆接触层,在金属反射层和欧姆接触层上形成导热绝缘层,导热绝缘层上形成导热金属层、P电极和N电极,P电极穿过导热绝缘层与金属反射层连接,N电极穿过导热绝缘层与欧姆接触层连接。本发明还公开一种光热电分离的倒装LED芯片制作方法。本发明实现LED芯片光、热及电三重分离,出光面无电极挡光,取光效率高,热量由导热金属层导出,增加芯片可靠性。 | ||
搜索关键词: | 一种 热电 分离 倒装 led 芯片 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
1.一种光热电分离的倒装LED芯片,其特征在于:在衬底上形成缓冲层,在缓冲层上形成N‑GaN,在N‑GaN上形成有源层,在有源层上形成P‑GaN,依次部分蚀刻P‑GaN和有源层直至裸露部分N‑GaN;在P‑GaN上形成金属反射层,在裸露部分N‑GaN形成欧姆接触层,在金属反射层和欧姆接触层上形成导热绝缘层,导热绝缘层上形成导热金属层、P电极和N电极,P电极穿过导热绝缘层与金属反射层连接,N电极穿过导热绝缘层与欧姆接触层连接。
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