[发明专利]一种折射率连续渐变的光学薄膜制备方法在审
| 申请号： | 201610770888.6 | 申请日： | 2016-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN106435508A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 陈亮;李俊贤;吕奇孟;吴奇隆;陈凯轩;张永 | 申请（专利权）人： | 厦门乾照光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/50;G02B1/10 |
| 代理公司： | 厦门市新华专利商标代理有限公司35203 | 代理人： | 廖吉保 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开一种折射率连续渐变的光学薄膜制备方法，包括以下步骤：一、样品台设置：提供一基底，将基底设置在通过转动轴实现转动的样品台上，且样品台的转动轴与基底表面平行，二、材料源设置：提供一蒸镀源或溅射靶材，调整蒸镀源或溅射靶材位置，使其向基底入射的方向与样品台的转动轴垂直，蒸镀源或溅射靶材入射方向与基底之间形成可变化的夹角；三、镀膜控制：蒸镀源或溅射靶材向样品台上的基底送入镀膜材料，此时不断转动样品台并控制转速，使基底与蒸镀源或溅射靶材之间的夹角在0‑90°内连续变化，制得密度连续变化的光学薄膜。本发明实现蒸镀光学薄膜的折射率的连续控制，制得光学薄膜产品具有更好的光学性能，可有效增加对光的穿透或反射的控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 折射率 连续 渐变 光学薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种折射率连续渐变的光学薄膜制备方法，其特征在于：包括以下步骤一、样品台设置：提供一基底，将基底设置在通过转动轴实现转动的样品台上，且样品台的转动轴与基底表面平行，二、材料源设置：提供一蒸镀源或溅射靶材，调整蒸镀源或溅射靶材位置，使其向基底入射的方向与样品台的转动轴垂直，蒸镀源或溅射靶材入射方向与基底之间形成可变化的夹角；三、镀膜控制：蒸镀源或溅射靶材向样品台上的基底送入镀膜材料，此时不断转动样品台并控制转速，使基底与蒸镀源或溅射靶材之间的夹角在0‑90°内连续变化，制得密度可连续变化的光学薄膜。
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