[发明专利]用于减小开关功率损耗的方法和结构

摘要

一种用于减小开关功率损耗的方法和结构。一个实施方式涉及一种方法。所述方法包括在基板上方或所述基板中形成第一导电类型的漂移区。所述基板具有第一表面和第二表面。在沟道的第一部分之上形成第一绝缘体，所述第一绝缘体具有第一厚度。在所述沟道的第二部分之上形成第二绝缘体，所述第二绝缘体具有小于所述第一厚度的第二厚度。在所述第一绝缘体之上形成第一栅极。在所述第二绝缘体之上形成第二栅极。在所述基板上方或所述基板中形成第二导电类型的体区。

主权项

一种设备，包括：具有两个表面的基板；位于所述基板上方或所述基板中的第一导电类型的漂移区；位于所述漂移区上方的第一导电类型的漏极；位于所述漂移区上方的具有第一导电类型的源极；位于所述漂移区与所述漏极之间的具有第二导电类型的体区；第二导电类型的沟道，所述沟道具有第一部分和第二部分且所述沟道位于所述漏极与所述源极之间；位于所述沟道的所述第一部分上方的第一绝缘体，所述第一绝缘体具有第一厚度；位于所述沟道的所述第二部分上方的第二绝缘体，所述第二绝缘体具有小于所述第一厚度的第二厚度；位于所述第一绝缘体上方的第一栅极；位于所述第二绝缘体上方的第二栅极，所述第二栅极电耦接至所述源极，并且其中所述漏极、所述源极和所述沟道的每一个的顶表面实质是共面的并且与所述基板的至少一个表面实质上平行。