[发明专利]蒸镀掩膜及其制造方法有效
| 申请号： | 201610772120.2 | 申请日： | 2016-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN107419217B | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 田丸裕仁;小林良弘;石川树一郎 | 申请（专利权）人： | 麦克赛尔株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 丁文蕴;宋春华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供蒸镀掩膜及其制造方法，在将掩膜主体用框体支撑的形式的蒸镀掩膜中，能够在抑制制造成本上升的同时，实现蒸镀掩膜的大型化，还能够维持蒸镀掩膜的平坦度，能够确保良好的再现精度及蒸镀精度。蒸镀掩膜(1)具备：掩膜主体(2)，其具备由多个独立的蒸镀通孔(5)构成的蒸镀图案(6)；以及加强用的框体(3)，其由低热线膨胀系数的金属板材构成。掩膜主体和框体经由金属层(8)接合成不可分离的一体。由形成为相同形状的上框(16)和下框(17)构成框体，且将上下框经由粘结层(18)接合而一体化。由此，能够用更薄的金属板材来形成框体，因此，减小框体整体的板厚偏差，能够抑制因由板厚偏差引起的热膨胀而产生的应变。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩膜 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种蒸镀掩膜，其具备：掩膜主体(2)，其具备由多个独立的蒸镀通孔(5)构成的蒸镀图案(6)；以及加强用的框体(3)，其配置于掩膜主体(2)的周围，且由低热线膨胀系数的金属板材构成，上述蒸镀掩膜的特征在于，掩膜主体(2)和框体(3)经由金属层(8)接合成不可分离的一体，框体(3)由形成为相同形状的上框(16)和下框(17)构成，上框(16)和下框(17)经由粘结层(18)接合而一体化。
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