[发明专利]铋电镀浴和将铋电镀于基板上的方法有效
申请号: | 201610772472.8 | 申请日: | 2016-08-30 |
公开(公告)号: | CN106521577B | 公开(公告)日: | 2019-02-26 |
发明(设计)人: | A·福伊特;M·克洛斯 | 申请(专利权)人: | 罗门哈斯电子材料有限责任公司 |
主分类号: | C25D3/54 | 分类号: | C25D3/54;C25D7/10 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陈哲锋;胡嘉倩 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 酸铋电镀浴在浴液寿命期间是稳定的并且具有高电流效率。由于浴液组分数目减少,因此铋浴容易控制。 | ||
搜索关键词: | 电镀 基板上 方法 | ||
【主权项】:
1.一种铋电镀浴,其由以下部分组成:一或多种铋离子源;一或多种酸;一或多种聚氧乙烯芳基醚;水;和,任选地,一种或多种胺氧化物、一种或多种消泡剂,和一种或多种抗菌剂;所述铋电镀浴不含合金化金属;其中所述一或多种聚氧乙烯芳基醚具有下式:
其中R1是苯基,并且,R2和R3是相同的且选自甲基、乙基和丙基,并且n是整数1到10。
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