[发明专利]一种类石墨纳米多层薄膜及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 201610773454.1 | 申请日： | 2016-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN106282918B | 公开（公告）日： | 2018-10-26 |
| 发明（设计）人： | 王海斗;马国政;雍青松;陈书赢;何鹏飞 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军装甲兵工程学院 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;C23C14/16 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 赵青朵 |
| 地址： | 100072*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及类石墨薄膜(GLC)技术领域，本发明提供了一种类石墨纳米多层薄膜及其制备方法和应用，所述类石墨纳米多层薄膜由纯GLC薄膜与掺金属GLC薄膜交替组成，所述掺金属GLC薄膜中金属为第六副族元素，每个相邻纯GLC薄膜与掺金属GLC薄膜两膜层的总厚度为30nm～80nm。本发明将掺杂改性和结构设计这两种优化手段引入到GLC薄膜研究中，获得一种具有局部掺杂、整体多层的结构特征的新型GLC薄膜，其具有高硬度、低应力、强韧性等特点，并且摩擦学性能优异，能很好地实现力学性能与摩擦学性能的协调匹配，利于其在各种工程部件上的广泛应用。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 多层薄膜 石墨纳米 金属 制备方法和应用 摩擦学性能 薄膜研究 掺杂改性 副族元素 工程部件 局部掺杂 力学性能 石墨薄膜 低应力 高硬度 强韧性 多层 膜层 匹配 引入 应用 优化 协调 | ||
【主权项】：
1.一种类石墨纳米多层薄膜，其特征在于，由纯GLC薄膜与掺金属GLC薄膜交替组成，所述掺金属GLC薄膜中金属为钨，每个相邻纯GLC薄膜与掺金属GLC薄膜两个子层作为一个调制周期，每个调制周期总厚度为30nm～80nm；所述类石墨纳米多层薄膜的总层数为30层～60层。
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